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高真空存杆仪，该设备zui低真空为10-5mbar，为原位样品台提供高真空存放环境，避免样品台受到污染，更可清洁样品台，尤其适用于原位样品台。方便研究人员对不同样品台的切换，触屏控制zui多可实现6路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。
标准配置清单：
序号 分项内容
数量
1
可视化高真空存杆腔体（适配）
4套
2
真空数据设定、读取及触控操作（hmi）
1套
3
存杆仪支架及柜体
1台
4
高真空发生系统
1套
5
包装、运输及保险
技术参数：
1) 压力范围：0-1000mbar。
2) 存杆数量：四路
2）适用电镜样品台：fei、jeol、hitachi（适配）。
3）适用原位反应舱芯片：自组装键合一体式芯片，加热芯片，纳流体芯片等。
4）极限真空小于等于1×10-6 mbar。
5）接口模块含控制阀门，以在电源关闭时保持真空状态，或在取杆时，实现存杆模块气体通入，加速样品台取出过程。
6）各路存杆相互独立，存或取杆时互不影响，支持随存随取。
更多访问：
http://www.chip-nova.com.cn/sonlist-2045771.html
https://www.chem17.com/st384871/erlist_2045771.html
高真空存杆仪